真空镀钛设备(钙钛矿生产线)
近日，泛半导体智能制造整体解决方案供应商合肥欣奕华智能机器股份有限公司（以下简称“合肥欣奕华”）研发的用于钙钛矿太阳能电池生产的关键量产设备Inline钙钛矿真空镀膜机已交付国内钙钛矿产业知名公司投入生产。
钙钛矿型太阳能电池(Perovskite Solar Cells)是指利用钙钛矿型的有机半导体作为吸光材料的太阳能电池，被视为下一代先进太阳能电池技术。钙钛矿太阳能电池因为高光吸收系数、超长载流子扩散长度、低激子结合能、高缺陷容忍度、带隙可调、制备工艺多样等优势，成为第三代高效薄膜电池的代表，作为《“十四五”可再生能源发展规划》中具有前沿性的新一代高效率、低成本的光伏创新技术，钙钛矿受到了广泛关注，能源行业的头部企业及一些跨界巨头也纷纷布局，钙钛矿商业化量产进程进一步加快。
此次合肥欣奕华交付的Inline钙钛矿真空镀膜机是国内首台全自主研发面世的大尺寸钙钛矿真空镀膜机，属于钙钛矿电池制备核心设备，采用Inline System设计，无需工业机器人即可实现自动上下料，降低了成本，同时其独特的间隙管理，可提高镀膜效率，节约材料，减少污染，并且兼容多种材质基板。该设备满足大面积钙钛矿膜层制备，有效提高材料利用率，确保大面积均匀性。“近年来我们持续加大研发投入，这款设备具有完全自主知识产权。此次我们主要攻克了真空镀膜技术、高速率控制技术、掺杂化学反应的高混合比真空镀膜技术和大面积高品质钙钛矿吸收层制备技术，合肥欣奕华的Inline钙钛矿真空镀膜机能实现高质量均匀大面积成膜，稳定性高。”企业相关负责人表示。
自2015以来，合肥欣奕华一直紧跟蒸镀机技术发展趋势，适应产业发展动向，主动拥抱新工艺新技术。先后开发出应用于OLED材料、OLED小型器件制备研究验证以及OLED面板量产工艺验证的蒸镀机，适用于AR/VR近眼显示、智能穿戴等Micro OLED面板量产的硅基蒸镀机和适用于光伏钙钛矿电池量产的钙钛矿真空镀膜机。
未来，合肥欣奕华将继续深耕智能制造领域，提高核心技术优势，为光伏生产上下游产业链提供更多先进装备，以创新的产品和优质的服务为客户持续创造价值，引领全球能源绿色低碳转型。