芯片制造关键装备 离子注入机成功实现全谱系国产化
admin
国产离子注入机。图为研究人员正在进行相关测试。中国电子科技集团供图
人民网北京3月17日电 （赵竹青）据中国电子科技集团17日消息，该集团旗下电科装备已成功实现离子注入机全谱系产品国产化，可为全球芯片制造企业提供离子注入机一站式解决方案。
离子注入机是芯片制造中的关键装备。据悉，多年来，电科装备连续突破大流强长寿命高品质离子源、高速晶圆传输等“卡脖子”技术，自主研制中束流、大束流、高能、特种应用及第三代半导体等离子注入机，工艺段覆盖至28nm，累计形成核心发明专利413项，实现我国芯片制造领域全谱系离子注入机自主创新发展，有效缓解我国芯片制造领域断链、短链难题。
电科装备表示，下一步，将瞄准高端，紧跟先进工艺发展，加快推进适用于更先进工艺节点离子注入机的研发及产业化。
相关内容
热门资讯
伊朗超级能源枢纽遭袭，原油价格...
央视新闻客户端消息，总台记者当地时间4月7日自伊朗方面获悉，伊朗哈尔克岛再次遭到袭击，并传出多次爆炸...
股票行情快报：融发核电（002...
证券之星消息，截至2026年4月7日收盘，融发核电(002366)报收于7.15元，上涨1.56%，...
光威复材（300699）新增【...
证券之星消息，根据市场公开信息整理，4月7日光威复材（300699）新增【新能源车】概念。 新增概念...
正海磁材（300224）新增【...
证券之星消息，根据市场公开信息整理，4月7日正海磁材（300224）新增【光伏】概念。 新增概念原因...
再传捷报！电气风电中标中广核贵...
近日，中广核电子商务平台发布《中广核新能源贵州龙里合安、龙山、新坪275MW陆上风电项目风力发电机组...
股票行情快报：中国核电（601...
证券之星消息，截至2026年4月7日收盘，中国核电(601985)报收于8.7元，下跌1.25%，换...
天津重型装备申请核电蒸发器一体...
国家知识产权局信息显示，天津重型装备工程研究有限公司;中国第一重型机械股份公司申请一项名为“一种核电...
万祥科技（301180）新增【...
证券之星消息，根据市场公开信息整理，4月7日万祥科技（301180）新增【新能源车】概念。 新增概念...
南京灵枢智联申请面向三相不平衡...
国家知识产权局信息显示，南京灵枢智联技术有限公司申请一项名为“一种面向三相不平衡治理的光伏安装规划方...
我国开发的东南亚单体最大光伏项...
今天，由我国开发建设的东南亚单体最大光伏项目——中广核老挝北部互联互通清洁能源基地一期100万千瓦光...
特朗普威胁炸伊朗发电厂 联合国...
联合国秘书长发言人迪雅里克4月6日对美国总统特朗普威胁空袭伊朗发电厂、桥梁及其他基础设施的言论表示震...
输电线路遭袭 伊朗卡拉季部分地...
总台记者当地时间7日自伊朗方面获悉，在近期美以对伊朗的袭击中，由于输电线路遭炮击，伊朗卡拉季附近的部...
绿发电力：本部及区域公司电力营...
有投资者在互动平台向绿发电力提问：“贵司所称的专业营销团队支持新能源+，请问这个团队是否对公司做出贡...
国网上海申请区域综合能源系统多...
国家知识产权局信息显示，国网上海市电力公司;国网上海综合能源服务有限公司申请一项名为“一种区域综合能...
吴林强：以未来能源筑牢能源强国...
能源是工业的粮食、国民经济的命脉，持续深化能源转型发展是高质量发展的题中应有之义。“十五五”规划纲要...
国家电投内蒙古公司通辽发电总厂...
2026年第一季度，国家电投内蒙古通辽发电总厂锚定首季目标，统筹推进安全生产、能源保供与提质增效各项...
国研电力取得电力工程用电缆敷设...
国家知识产权局信息显示，山东国研电力股份有限公司取得一项名为“一种电力工程用电缆敷设装置”的专利，授...
德媒文章：世界或将爆发“能源生...
参考消息网4月7日报道德国《明镜》周刊网站4月1日发表题为《现在，围绕未来能源的斗争真的开始了》的文...